简谈压印三自由度精密定位工作台设计与制造工艺技术大纲

论文导读：件，工作台的定位精度直接影响光刻设备的图形位移精度、套刻精度、对准精度、分辨率等的多项光刻技术参数，精密工作台的质量直接决定了压印的精度和质量。依据改善的Delta机构设计的论述浅析模型，在运动学和刚度仿真浅析的基础上，设计制造了用于纳米压印光刻系统，具有3个平动自由度的柔性并联精密定位工作台，该机构由电压制约
摘要：纳米压印光刻技术是运用于半导体芯片制造策略中最具有运用前景的技术之一，具有成本低，生产效率高的优点。围绕纳米压印光刻技术的探讨得到了蓬勃的进展，其中精密定位工作台定位技术的探讨具有重要的论述作用和运用价值。精密定位工作台是在纳米压印光刻设备中关键的核心部件，工作台的定位精度直接影响光刻设备的图形位移精度、套刻精度、对准精度、分辨率等的多项光刻技术参数，精密工作台的质量直接决定了压印的精度和质量。依据改善的Delta机构设计的论述浅析模型，在运动学和刚度仿真浅析的基础上，设计制造了用于纳米压印光刻系统，具有3个平动自由度的柔性并联精密定位工作台，该机构由电压制约器分别制约三个压电陶瓷驱动器的加载电压，驱动工作台实现精密定位。利用三坐标测量机对精密定位工作台柔性铰链的加工尺寸进行了精度检测。数据表明工作台的三个柔性铰链的椭圆轮廓形状和位置尺寸与论述值有误差，对产生误差的理由进行浅析，提出了减小加工误差的加工工艺改善策略。通过工作台输出特性实验，得到样机工作台开环制约时的绝对定位精度和重复定位精度。利用模态浅析系统对精密定位工作台进行了动特性浅析，与Pro/Mechanica仿真浅析数据比较，验证了精密定位工作台的动力学模型，为提升精密定位工作台的动态性能提供依据。关键词：纳米论文压印光刻论文定位工作台论文柔性铰链论文
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ABSTRACT4-5
目录5-7
第一章 绪论7-21

1.1 课题背景与探讨作用7-9

1.2 国内外探讨近况9-19

1.2.1 精密压印平台的探讨与分类10-14

1.2.2 机构运动学建模14-15

1.2.3 机构的刚度浅析15-17

1.2.4 机构的力学浅析17-19

1.3 课题提出19-20

1.4 论文的内容概要20-21

第二章 弹性铰链设计论述21-32

2.1 引言21

2.2 弹性铰链设计原理21-28

2.1 椭圆形切口轮廓弹性铰链的刚度计算23-28

2.3 椭圆形柔性铰链转动精度计算28-29

2.4 椭圆形切口柔性铰链的应力计算29-31

2.5 本章小结31-32

第三章 精密定位工作台的设计32-47

3.1 引言32

3.2 精密定位工作台的机构设计32-37

3.3 重力和预紧力仿真浅析37-39

3.4 工作台尺寸参数39-46

3.4.1 柔性铰链的加工工艺40-42

3.4.2 柔性铰链的尺寸测量42-46

3.5 本章小结46-47

第四章 精密定位工作台实验47-59

4.1 引言47

4.2 实验仪器设备47

4.

2.1 输出特性仪器设备47

4.

2.2 模态测定仪器设备47

4.3 输出特性实验47-55

4.4 测定精密工作台低阶固有频率55-59

第五章 结论与展望59-61

5.1 全文结论59

5.2 工作展望59-61

参考文献61-67
致谢67